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嵌入可动电极的微惯性传感器的设计

MEMS电容式微惯性传感器因其具有尺寸小、灵敏度高、稳定性好、温度漂移小、功耗低、很好的工作在力平衡模式下等等优点，在军事、汽车工业、生物***、消费电子、惯性导航等领域得到广泛的应用。 本首先分析了电容式微惯性传感器的测量控制原理和系统动态模型，并在此基础上通过三个方面设计出新型嵌入横向可动电极的微惯性传感器，分别是：支撑梁结构、微执行器结构和检测电容结构。通过分别对以上三方面不同结构模型的分析对比，在传感器设计中选用U形梁结构作为传感器的支撑梁，电磁执行器作为驱动力，梳栅结构作为检测电容结构。而在以前技术相对落后时，所谓的传感器是指上文中的敏感元件，而变送器就是上文中的转换元件。

其中为了克服深反应离子刻蚀关于深宽比不能做大的限制和降低噪声，详细介绍了电磁驱动增大传感器初始检测电容的工作原理，通过嵌入可动电极和电磁驱动作用减小电容间隙，结果表明，电磁驱动使得传感器的电容间隙减小4μm，初始检测电容由1.28pf增大到6.4pf。 根据以上理论分析和参数设计，给出了新型电容式微惯性传感器的整体结构模型，并利用有限元软件Ansys进行。结果表明所设计的传感器在非敏感方向上梁的刚度较大，轴向交叉效应得到了有效***；传感器的静态位移灵敏度为0.659μm/g，施加电磁驱动前后的电容灵敏度分别为0.15pf/g和0.192pf/g，增大为原来的1.28倍；就该复合式磁传感器而言，进一步提升器件的探测精度是其未来研究发展的主要方向。同时应力分析结果表明，传感器能够抵挡1000g的加速度信号的冲击而不被损坏。之后利用电磁分析软件ANSOFT-Maxwell分析了边缘效应对传感器性能的影响，表明小尺寸的传感器电容的边缘效应不可忽略。

气敏传感器

气敏传感器是指能将被侧气体浓度转换为与其成一定关系的电量输出的装置。气敏传感器的性能必须满足下列条件:

(1)能够检渊易气体的允许浓度、***气体的允许浓度和其他基准设定浓度.并能及时给出报薯、显示与控制信号;

(2)对被侧气体以外的共存气体或物质不敏感;

(3)长期稳定性好、重复性好；

(4)动态特性好、响应迅速;

(5)使用、维护方便，价格便宜等。

深圳市瑞泰威科技有限公司是国内IC电子元器件的代理销售企业，***从事各类驱动IC、存储IC、传感器IC、触摸IC销售，品类齐全，具备上百个型号。与国内外的东芝、恩智浦、安森美、全宇昕、上海晶准等均稳定合作，保证产品的品质和稳定供货。自公司成立以来，飞速发展，产品已涵盖了工控类IC、光通信类IC、无线通信IC、消费类IC等行业。特别是TMR磁传感器，拥有小型化、低成本、低功耗、高集成性、高相应频率和高灵敏度特性，使其成为未来竞争的制高点。

CMOS图像传感器Ic设置参数是否有规定

CMOS图像传感器ic的关键参数：ISO感光度（表示传统相机所使用的底片的感光度。但应用为广泛的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。当ISO数值越大时，感光度就越大）、分辨率（像素）、暗电流（在没有入射光时光点二极管所释放的电流量，一下被隔离的反向偏置的光电二极管即使在没有任何光照的条件下，也会产生放点现象）、噪声特性（主要由于数码相机本身采用的大量电子器件，在拍摄影像质量时很容易受到电子元器件的电磁溢波干扰，CMOS图像传感器上残留的能量以及运作环境温度的上升，就会产生自然噪声）、快门方式（主要分成卷帘式快门（Rolliong Shutter）和全局式快门（Global Shutter），卷帘式快门的优势在于没有采样保持单元，结构简单噪音低、全局式快门的优势在于拍摄运动物体不会失真）、动态范围（传感器非饱和信号上限与暗条件下噪声均方差之比）

图像传感器

图像传感器是应用光电器件的光电转换功用。将感光面上的光像转换为与光像成相应比例关系的电信号。与光敏二极管，光敏三极管等“点”光源的光敏元件相比，图像传感器是将其受光面上的光像，分红许多小单元，将其转换成可用的电信号的一种功用器件。

图像传感器分为光导摄像管和固态图像传感器。与光导摄像管相比，固态图像传感用具有体积小、重量轻、集成度高、分辨率高、功耗低、寿命长、价钱低等特性。因此在各个行业得到了普遍应用。