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发布时间:2020-10-08 09:27:03
采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件,具有的计量特性。
表压压力传感器和变送器由双膜片构成:钛合金测量膜片和钛合金接收膜片。印刷有异质外延性应变灵敏电桥电路的蓝宝石薄片,被焊接在钛合金测量膜片上。被测压力传送到接收膜片上(接收膜片与测量膜片之间用拉杆坚固的连接在一起)。在压力的作用下,钛合金接收膜片产生形变,该形变被硅-蓝宝石敏感元件感知后,其电桥输出会发生变化,变化的幅度与被测压力成正比。
传感器的电路能够保证应变电桥电路的供电,并将应变电桥的失衡信号转换为统一的电信号输出(0-5,光电传感器,4-20mA或0-5V)。在绝压压力传感器和变送器中,蓝宝石薄片,与陶瓷基极玻璃焊料连接在一起,起到了弹性元件的作用,将被测压力转换为应变片形变,从而达到压力测量的目的。
蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成,不会发生滞后、疲劳和蠕变现象;蓝宝石比硅要坚固,硬度更高,不怕形变;蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘特性( 1000 OC 以内),因此,光电传感器 实验报告,利用硅 - 蓝宝石制造的半导体敏感元件,对温度变化不敏感,即使在高温条件下,光电传感器技术,也有着很好的工作特性;蓝宝石的抗辐射特性极强;另外,硅 - 蓝宝石半导体敏感元件,无 p-n 漂移,因此,从根本上简化了制造工艺,提高了重复性,欧姆龙光电传感器,确保了高成品率。
用硅 - 蓝宝石半导体敏感元件制造的压力传感器和变送器,可在恶劣的工作条件下正常工作,并且可靠性、精度好、温度误差、性价比高。
气敏传感器是指能将被侧气体浓度转换为与其成一定关系的电量输出的装置。气敏传感器的性能必须满足下列条件:
(1)能够检渊易气体的允许浓度、***气体的允许浓度和其他基准设定浓度.并能及时给出报薯、显示与控制信号;
(2)对被侧气体以外的共存气体或物质不敏感;
(3)长期稳定性好、重复性好;
(4)动态特性好、响应迅速;
(5)使用、维护方便,价格便宜等。
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弱磁探测技术的发展,归根结底依靠的是磁传感器技术的进步。近年来,随着各种物理效应在磁场测量中的应用,各种弱磁测量的方法已经逐渐趋于完善,而根据不同测量方法,各类磁传感器也应运而生。从霍尔效应磁传感器、磁通门磁传感器、磁电阻传感器到光泵磁强计和超导干涉器件(SQUID),磁传感器技术不断的向前发展。这其中,为熟知的探测精度达到fT量级的弱磁传感器当属基于超导约瑟夫森效应的超导干涉器件。目前,单独的SQUID 器件在低温下灵敏度可以达到0.2—2 pT,而通过加入耦合线圈磁通放大器,在4.2 K灵敏度可以达到10 fT 以下。然而,对于低温超导SQUID 而言,需要昂贵的低温制冷设备(液氦、低温制冷机等);高温超导SQUID由于超导材料的相干长度短,在约瑟夫森结的制备方面存在困难。这些因素都制约了SQUID的大规模应用。
伴随着科技进步和信息技术的发展,除了灵敏度之外,人们也对磁传感器的尺寸、稳定性、功耗、制备工艺的简单化等提出了越来越高的要求。其中基于磁电阻效应的传感器因其具备高灵敏度、功耗低、体积小、加工技术成熟等优点正在越来越大规模的使用。其中,基于巨磁电阻(GMR)及隧道磁电阻(TMR)效应制备的磁电阻传感器因其饱和磁场较低、单位磁场灵敏度高、温度特性稳定等优点,目前已被广泛用于生产应用中。特别是TMR磁传感器,拥有小型化、低成本、低功耗、高集成性、高相应频率和高灵敏度特性,使其成为未来竞争的制高点。
另一方面,作为高灵敏度传感器而言,GMR和TMR的固有噪声仍然较大,特别是在低频下,传感器存在明显的1/f 噪声。并且在探测精度方面相比于SQUID、光泵磁力仪等高灵敏度磁传感器仍然有较大差距,这也限制了其在生物磁性、等一些弱磁探测领域的应用。
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